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韓國 三星 半導體 晶圓 晶片 財報 台積電. RCA 晶圓清洗製程 用途於微影成像後去除光 阻清洗晶圓達到酸鹼中和 以進行後續製程 清洗劑 APMSC-1 或HA 成分NH 4OH H 2O 2 H 2O 去除微粒子與有機物 加入金屬鉗合劑chelating agent 如乙二胺四醋酸EDTA可抑制金 屬.

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